وکیوم گیج کامپوزیت کاتد سرد دیجیتال YJJ AGP4000H00 MEMS وکیوم سنج پیرانی با دقت بالا

توضیحات محصول:

YJJ AGP4000H00 MEMS اندازه گیری خلاء کامپوزیت قطر سرد دیجیتال با دقت بالا

ویژگی ها:

I. معرفی محصول

مدل: AGP4000H00، اندازه گیری خلاء کامپوزیت کامل، اندازه گیری هادی گرما Pirani یکپارچه (مقادیر خلاء جوی تا متوسط) + اندازه گیری یونیزاسیون کاتود سرد (مقادیر خلاء بالا)

سوئیچ دو حالت اتوماتیک ، نیازی به جفت بندی با دو اندازه گیری خلاء مستقل نیست. سُند اندازه گیری خلاء فولاد ضد زنگ یکپارچه ، مجهز به صفحه نمایش رنگی TFT محلی.همچنین از اتصال سیگنال آنالوگ / دیجیتال به PLC پشتیبانی می کند، صفحه لمسی، میزبان کنترل صنعتی.

ویژگی های متمایز: صفحه لمسی Profiles AGP4000 شبیه به این مدل اندازه گیری خلاء است، اما یک محصول کاملا متفاوت است. خرید و اتصال سخت افزار نباید اشتباه گرفته شود.

II. پارامترهای اصلی عملکرد

1محدوده اندازه گیری خلاء (دو گج ترکیب)

محدوده اندازه گیری کل: 5×10−6 Pa 1×105 Pa (که شامل 6 نظم بزرگ است، شامل پمپاژ خشن، خلاء متوسط و خلاء بالا در طول فرآیند)

محدوده کاری Pirani: 1×105 Pa ️ 10 Pa (همیشه در طول فرآیند، نظارت از اتمسفر تا خلاء متوسط)

محدوده شروع خودکار کاتود سرد: <10 Pa، به طور خودکار اندازه گیری یونیزاسیون را برای خلاء بالا در زیر این سطح خلاء شروع می کند، نیازی به تغییر دستی نیست

واحدهای اندازه گیری: Pa / mbar / Torr، سه واحد را می توان به طور همزمان با رابط های چینی و انگلیسی تغییر داد

2دقت و ثبات

خطای تکرار پذیری: ≤±5٪

دقت اندازه گیری: ±30% خواندن در مقیاس کامل

سرعت پاسخ: پاسخ در سطح میلی ثانیه Pirani؛ شروع سریع و پایدار کاتود سرد در ولتاژ بالا

ویژگی های ضد آلودگی: کاتود سرد هیچ رشته ولتفرام گرم ندارد، توسط بخار روغن یا گرد و غبار پوشش سوخته نمی شود، طول عمر بسیار طولانی تری نسبت به اندازه گیری یون سازی کاتود حرارتی دارد

3مشخصات منبع برق

ولتاژ منبع برق: DC 15-30V DC طیف گسترده ای

کل مصرف برق: ≤6W

رابط اتصال / منبع برق یکپارچه: RJ45 منبع برق یکپارچه + RS485

ارتباطات دیجیتال: Modbus RTU، نرخ باد 4800/9600/19200/115200 قابل تنظیم، از شبکه سازی چند دستگاه پشتیبانی می کند (آدرس 1 ~ 255)

خروجی آنالوگ: خروجی ولتاژ لوگرتیمی 0 ~ 10V، می تواند به طور مستقیم به ضبط کننده ها، ماژول های آنالوگ PLC متصل شود

مقدار سوئیچینگ: 2 رله هشدار قابل برنامه ریزی، می تواند آستانه خلاء بالا / پایین را برای اتصال پمپ ها، شیرها و چراغ های هشدار تنظیم کند

4مکانیک، محیط زیست، مواد

فلنج خلاء: فلنج KF25 استاندارد با آزادی سریع، سخت گیری هوا عالی، پشتیبانی از هر نصب زاویه ای

مواد تماس حفره ای: فولاد ضد زنگ 304/316 الکتروپلیش شده، مناسب برای خلاء بدون روغن، سیستم های خلاء خفیف روغن

محدوده دمای عملیاتی: 5°C55°C

محدوده دمای ذخیره سازی: -20°C/70°C

حفاظت: مهر و موم فلزی کل ماشین، سنجه مقاوم در برابر گرد و غبار و آلودگی روغن خفیف

صفحه نمایش: نمایشگر رنگی Micro TFT، نمایش در زمان واقعی ارزش خلاء، دمای داخلی، وضعیت ارتباطات، چراغ های هشدار دو رنگی برای خلاء بالا/کم

اصول کار

اندازه گیری پیرانی (اصول هدایت حرارتی)

سیم مقاومتی داخلی گرمایش MEMS، مولکول های گاز گرما را جذب می کنند، هرچه فشار بالاتر باشد، تبعید گرما سریع تر باشد، دمای مقاومت پایین تر است.مدار تغییرات مقاومت را جمع آوری می کند و سطح خلاء اتمسفر را به 10Pa تبدیل می کند، به طور مداوم در طول فرآیند کار می کنند.

اندازه گیری یونیزاسیون کاتود سرد (افزایش پانینگ)

وقتی که خلاء کمتر از 10Pa است، به طور خودکار ولتاژ بالا را بار می گیرد، یون سازی گاز جریان یون تولید می کند؛ هرچه خلاء بالاتر باشد، جریان یون کوچکتر است،بنابراین اندازه گیری محدوده خلاء بالا 10Pa ~ 10−6Pa.

MCU ساخته شده به طور خودکار محدوده فشار را تعیین می کند، به راحتی بین دو حالت اندازه گیری تغییر می کند، ارزش خلاء را به طور یکنواخت تولید می کند،نیازی به تجهیزات پشتیبان برای انجام سوئیچینگ منطق دامنه نیست.

IV. مزیت های اصلی

یک سنجه واحد کل محدوده خلاء را پوشش می دهد و جایگزین راه حل دو سنجه سنتی "Pirani Gauge + Ionization Gauge" می شود و هزینه تجهیزات و فضای نصب را کاهش می دهد.کاتود سرد بدون رشته، که از تاثیرات جوی یا آلودگی پوشش نمی ترسد، نیاز به نگهداری کم دارد و برای تولید صنعتی 24 ساعته مناسب است.

آن را با یک صفحه نمایش رنگی محلی، اجازه می دهد تا در محل خواندن مقادیر خلاء بدون یک کامپیوتر بالا، باعث عیب یابی و نگهداری آسان است.

همچنین دارای خروجی های دوگانه آنالوگ 0-10 ولت + Modbus دیجیتال است که با صفحه نمایش های لمسی Proflex ، PLC های مختلف و سیستم های کسب کنترل صنعتی سازگار است.

ولتاژ گسترده DC15 ~ 30V، سازگار با کابینت تجهیزات برای منبع برق DC، سازگاری قوی در سایت های صنعتی؛

KF25 فلنج استاندارد جهانی، می تواند به طور مستقیم با پمپ های مولکولی، پمپ های مکانیکی و لوله های استاندارد اتاق های خلاء مطابقت داشته باشد.

VII. سناریوهای کاربرد اصلی

1تجهیزات پوشش نیمه هادی و خلاء (برنامه اصلی)

اسپتر کردن مغناطیس، ماشین های تبخیر، پوشش نوری، تجهیزات فیلم رسانای ITO

بسته بندی وافره، تمیز کردن پلاسما، تجهیزات حکاکی، نظارت بر کل فرآیند پمپاژ خشن → منحنی فرآیند خلاء بالا

تشخیص نشت حفره خلاء، همراه با تجهیزات تشخیص نشت هلیوم برای تعیین نقطه نشت

2تجهیزات آزمایشگاهی تحقیقاتی

انکوباتورهای آناروبی سلول، کابینت های خشک کردن خلاء، کوره های سینتر کردن با فشار گرم

اتاق های شبیه سازی آب و هوا، بنک های آزمایش سخت گیری هوا، تجهیزات آزمایش پیری مواد خلاء

تحقیقات اتاق های آزمایشی با خلاء بالا، نظارت بر خلاء منبع یون

3باتری لیتیوم، تجهیزات تولید انرژی جدید

پخت و پز خلاء با باتری لیتیوم، اتاق خلاء تزریق، ایستگاه تشخیص نشتی فشرده شدن هوا سلول

سیستم تبخیر برای پاک کردن فوم الکترولیت، تجهیزات پوشش خلاء الکترود

4صنعت هوافضا، آزمایش دقیق

اتاق های آزمایش خلاء با دمای بالا و پایین، تجهیزات شبیه سازی محیط فضایی فضاپیما

ابزار دقیق، سنسورها، ایستگاه های کالیبراسیون خلاء

5تجهیزات خلاء پزشکی

اتاق های فشار منفی پزشکی، تجهیزات استریلی و خلاء استریلی، دستگاه های فریز خشک کردن نمونه های بیولوژیکی

دستگاه های تنفسی همراه، کنترل اتصال فشار خلاء (ممکن است با اتصال حسگر CO2 ExplorIR-M-5 ترکیب شود)

6اتوماسیون خلاء صنعتی عمومی

تجهیزات جذب فشار منفی خلاء، ماشین های بسته بندی خلاء، کنترل ارتباط گروه پمپ خلاء، شروع و توقف خودکار بیش از حد خلاء پمپ های مکانیکی، پمپ های مولکولیدریچه های عایق بندی.

VI. پشتیبانی از راه حل های رابط (متوافق با مواد موجود شما)

صفحه نمایش بالا: صفحه لمسی AGP4000 Proflex، ارزش های خلاء را از طریق Modbus RJ45 بخوانید، منحنی، آلارم و منطق فرآیند خودکار را انجام دهید.

ارتباط گاز: همراه با حسگر CO2 ExplorIR-M-5، حسگر بویایی ZP152، نظارت یکپارچه بر خلاء در اتاق + غلظت گاز؛

دستگاه کامل پزشکی: در ترکیب با میزبان نظارت بر اکسیژن خون DS100A، برای خلاء پزشکی + تجهیزات یکپارچه علائم زندگی استفاده می شود.

مشخصات: