|
جزئیات محصول:
|
| محدوده جریان/فشار: | ± 1000 sccm (1 SLPM) | صفر در کل محدوده دما: | ± 0.20 میلی ولت dc |
|---|---|---|---|
| تکرارپذیری: | ± 0.50 درصد خواندن | زمان پاسخ: | مقدار معمولی 1 میلی ثانیه |
| برجسته کردن: | جریان سنج جرمی گاز میکرو پل,سنسور جرم سنج گاز AWM42300V,سنسور جریان جرم حرارتی میکرو پل |
||
± 1000sccm سنسور جرم سنج گاز میکرو پل AWM42300V
± 1000sccm سنسور جریان جرمی گاز میکرو پل AWM42300V
امکانات:
سنسور جریان جرمی گاز میکروپل از مقاومت حرارتی پیچیده شده در یک فیلم نازک از نیترید سیلیکون استفاده می کند.این مقاومت ها معلق هستند و دو پل را روی حفره اچ ویفر سیلیکونی تشکیل می دهند.تراشه در بهترین کانال جریان هوا قرار می گیرد تا پاسخ جریان قابل تکرار را ارائه دهد.با حکاکی حفره زیر پل سنجش جریان، هیتر و مقاومت حسگر به ایزولاسیون حرارتی کارآمد دست می یابند.اندازه کوچک و عملکرد عایق حرارتی سنسور جریان جرمی گاز میکرو پل به پاسخ سریع و حساسیت بالا به جریان هوا دست می یابد.
اندازه گیری جریان هوا کنترل دو پل وتستون - یکی کنترل گرمکن حلقه بسته را فراهم می کند، دیگری حاوی عناصر حسگر دوگانه است.مدار گرمکن با ارائه خروجی متناسب با دبی جرمی، تغییرات خروجی را به دلیل تغییر دمای محیط کاهش می دهد.این مدار دمای بخاری را در یک اختلاف دمای ثابت بالاتر از دمای محیط (160 درجه سانتیگراد) حفظ می کند که با مقاومت حرارتی روی تراشه اندازه گیری می شود.خروجی دستگاه متناسب با ولتاژ تغذیه است و همچنین با ولتاژ دیفرانسیل مدار پل وتستون مطابقت دارد.
اسمشخصات:
| نوع رابط | تعداد زیاد و متنوع |
| مصرف برق | 60 مگاوات |
| سازگاری متوسط | فقط گاز خشک |
| محدوده دمای جبران | -25 درجه سانتی گراد تا 85 درجه سانتی گراد [-13 درجه فارنهایت تا 185 درجه فارنهایت] |
تماس با شخص: Xu
تلفن: 86+13352990255
