AWM42300V حسگر جریان ماسه گاز ±1000sccm مایکرو پل

AWM42300V حسگر جریان ماسه گاز ±1000sccm مایکرو پل

ویژگی ها:

سنسور جریان جرم گاز میکروبریج از مقاومت حرارتی که در یک فیلم نازک از نیترید سیلیکون پیچیده شده است استفاده می کند. این مقاومت ها معلق شده و دو پل را بر روی حفره حکاکی وافر سیلیکون تشکیل می دهند..تراشه در بهترین مشخصات کانال جریان هوا قرار داده می شود تا پاسخ جریان تکراری را فراهم کند. با حک کردن حفره زیر پل حسگر جریان،بخاری و مقاومت حسگر جداسازی حرارتی کارآمد را به دست می آورنداندازه کوچک و عملکرد عایق حرارتی سنسور جریان جرم گاز مایکرو پل باعث پاسخ سریع و حساسیت بالا به جریان هوا می شود.

اندازه گیری جریان هوایی کنترل پل دوگانه Wheatstone - یکی کنترل حرارتی حلقه بسته را فراهم می کند، دیگری حاوی عناصر دوگانه است.مدار حرارتی تغییرات خروجی ناشی از تغییرات دمای محیط را با ارائه خروجی متناسب با میزان جریان جرم کاهش می دهداین مدار دمای گرم کننده را در یک تفاوت دمای ثابت بالاتر از دمای محیط (160 °C) حفظ می کند که با مقاومت حرارتی روی تراشه اندازه گیری می شود.خروجی از دستگاه متناسب با ولتاژ تغذیه و همچنین مربوط به ولتاژ فرقی از مدار پل گندم.

Sمشخصات: