سنسور جریان جرم الکتریکی مبتنی بر میکرو کامپیوتری سری YJJ FS8001 در تجهیزات صنعتی استفاده می شود

توضیحات محصول:

سنسور جریان جرمی الکتریکی مبتنی بر ریزپردازنده سری YJJ FS8001 در تجهیزات صنعتی استفاده می شود

ویژگی ها:

سنسور جریان جرمی الکتریکی ریزپردازنده سری FS8001 به طور ویژه برای کنترل فرآیندهای صنعتی مختلف طراحی شده است. این محصول دارای یک رابط رزوه ای است که نصب آن را آسان می کند و برای انواع تجهیزات صنعتی مانند دستگاه های اتصال ویفر قابل استفاده است.

سنسورهای جریان جرمی گاز سری FS8001 به طور ویژه برای کنترل فرآیندهای صنعتی طراحی شده اند. آنها دارای طراحی رابط رزوه ای هستند و برای تجهیزات صنعتی مانند دستگاه های اتصال کریستال مناسب هستند. آنها از اندازه گیری رسانه های گازی مانند هوا پشتیبانی می کنند. ویژگی های کلیدی این سنسورها عبارتند از:

محدوده اندازه گیری: 0 - 500 SCCM (سانتی متر مکعب استاندارد در دقیقه)

دقت: ±(2.0 + 0.5FS)

زمان پاسخ: ≤ 10ms

دمای عملیاتی: 0 - 55℃

حالت خروجی: ولتاژ آنالوگ (0.5 - 4.5VDC) یا سیگنال دیجیتال I2C اختیاری

نوع رابط: سوراخ پیچ M5 یا رابط الکتریکی JST

این سنسور دارای مصرف انرژی کم و قابلیت ضد تداخل قوی است و می تواند الزامات دقت بالا و سرعت پاسخگویی را در سناریوهایی مانند تولید نیمه هادی و نظارت بر خط لوله گاز برآورده کند.

محدوده جریان
‌محدوده جریان استاندارد‌: 0 - 500 sccm (تحت شرایط استاندارد)
گسترش محدوده جریان: تا 6 SLPM (لطفاً با مدل خاص تأیید کنید)
دقت و تکرارپذیری
‌دقت‌: ±(2.0 + 0.5 × FS)%
تکرارپذیری: ±1.0%
ویژگی های خروجی
‌حالت خروجی‌: ولتاژ آنالوگ خطی (0.5 - 4.5 VDC)، خروجی سیگنال دیجیتال I²C اختیاری
زمان پاسخ: 10 میلی ثانیه
شرایط کاری
‌ولتاژ کاری‌: 8 - 24 VDC
فشار کاری: 0.3 مگاپاسکال
دمای کار: 0 تا +55℃
دمای ذخیره سازی: -20 تا +65℃
ویژگی های دیگر
‌نوع رابط‌: رابط رزوه ای (سوراخ پیچ M5)
الزامات رطوبت: < 95% RH (بدون انجماد، بدون تراکم)

مشخصات: