YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-D-A MEMS جریان سنج جرم گاز حرارتی 0.5-50 SLPM 1.5MPa

توضیحات محصول:

YJJ MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA MEMS فلومتر جرمی گاز حرارتی 0.5 - 50 SLPM 1.5MPa

ویژگی ها:

I. جداسازی مدل (معنای تفصیلی هر موقعیت)

MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA

MF5006: سری، DN6 (قطر داخلی 6 میلی متر، رابط 1/4 اینچی)

N2: گاز استاندارد = نیتروژن (N2)

M: اصل جریان جرم حرارتی MEMS

E: پوسته آلیاژ آلومینیوم

0.5: حداقل محدوده 0.5 SLPM (لیتر استاندارد در دقیقه در 20 درجه سانتیگراد / 1 اتمسفر)

50: حداکثر برد 50 SLPM

15: حداکثر فشار کاری 1.5 مگاپاسکال

AB: خروجی = 4-20 میلی آمپر + RS485 (Modbus-RTU)

D: دارای نمایشگر LCD (آنی + جریان تجمعی)

A: پیکربندی استاندارد (بدون سفارشی سازی خاص)

II. پارامترهای اصلی (MF5006-N2M-E-0.5-50-15-AB-DA)

1. اندازه گیری عملکرد

محیط اندازه گیری شده: N2، هوا، O2، Ar، CO2، و غیره. خشک، تمیز، بدون روغن، بدون گاز تراکم

سوراخ / رابط: DN6، رشته داخلی 1/4 اینچی (G1/4 یا NPT1/4)

محدوده (N2، 20 درجه سانتی گراد / 1 اتمسفر): 0.5-50 SLPM (لیتر استاندارد / دقیقه)

دقت: ±(1.5% خواندن + 0.2% FS)

تکرارپذیری: ≤±0.5% FS

نسبت برد: 100:1 (محدوده وسیع، حساسیت جریان کم)

زمان پاسخگویی: ≤100ms (تغییر جریان سریع دنبال کنید)

جریان شروع: کم تا 8 میلی متر بر ثانیه (جریان بسیار کوچک قابل اندازه گیری)

2. برق و خروجی

منبع تغذیه: 12-24 VDC ± 10٪، مصرف برق < 2W

خروجی آنالوگ: 4-20 میلی آمپر (مطابق با 0-50 SLPM)

ارتباط: RS485 (Modbus-RTU)، نظارت از راه دور قابل شبکه

صفحه نمایش: صفحه نمایش LCD، جریان آنی (SLPM) + جریان تجمعی را نمایش می دهد

3. مکانیک و محیط زیست

جنس پوسته: آلیاژ آلومینیوم (نوع E)، سبک وزن، مقاوم در برابر خوردگی

مواد تماس: فولاد ضد زنگ 316L

فشار کاری: ≤1.5 MPa (15bar)

دمای کار: -20 تا +60 درجه سانتیگراد

رطوبت: 0-95٪ RH (بدون تراکم)

درجه حفاظت: IP40 (ضد گرد و غبار، محیط داخلی / محیط صنعتی عمومی)

نصب: نصب افقی / عمودی به میل، بدون نیاز به بخش لوله مستقیم (مزیت MEMS حرارتی)

4. خصوصیات اصلی

MEMS Thermal: اندازه‌گیری مستقیم جریان جرم، بدون دما / جبران فشار، دقت دما / نوسانات فشار

فشار دیفرانسیل فوق العاده کم: افت فشار حداقل، مناسب برای سیستم های فشار کم / جریان کوچک

پایداری بالا: جابجایی نقطه صفر کوچک، طولانی مدت بدون تعمیر و نگهداری

III. کاربردهای اصلی (اندازه گیری دقیق گازهای حفره کوچک، جریان کم)

1. نیمه هادی / الکترونیک (سناریوی اصلی)

نیتروژن با خلوص بالا (N2)، اکسیژن (O2)، آرگون (Ar)، نسبت گاز فرآیند و نظارت بر جریان

کنترل دقیق گاز جریان کوچک در پردازش ویفر، انتشار، اچینگ، تجهیزات رسوب گذاری

2. پزشکی / دارویی

نظارت بر جریان اکسیژن/نیتروژن بیمارستانی (مسک های تنفسی، دستگاه های بیهوشی)

گاز استریل دارویی، گاز محافظ (N2/Ar) اندازه گیری دقیق

3. آزمایشگاه / تحقیقات

نسبت جریان کوچک، اختلاط، پایش گازهای واکنشی گازهای آزمایشی (N2/O2/Ar/CO2)

اندازه گیری جریان کم گاز برای کاتالیز، احتراق، نمونه برداری محیطی و غیره

4. اتوماسیون صنعتی

کنترل پایدار جریان کوچک گاز محافظ جوش (Ar/CO2)

نظارت بر جریان پردازش دقیق، انفجار تجهیزات بازرسی / گاز حفاظتی

شاخه کوچک هوای فشرده / اندازه گیری مصرف انرژی پایانی تجهیزات

5. محیط زیست / انرژی های نو

گاز خروجی با غلظت پایین، نظارت بر نمونه‌برداری جریان کوچک گاز دنباله‌ای

اندازه گیری گاز هیدروژن با غلظت پایین برای سلول های سوختی هیدروژن

مشخصات: