|
جزئیات محصول:
|
| مقیاس کامل: | 100 SCCM | منبع تغذیه: | +15 تا +28 VDC (تک منبع) |
|---|---|---|---|
| سیگنال: | آنالوگ 0-5 ولت؛ از ارتباطات دیجیتال RS485 پشتیبانی می کند | دقت: | ± 1% FS; تکرارپذیری: ± 0.2% FS |
| برجسته کردن: | کنترل کننده جرمی جریان گاز برای تولید نیمه هادی,سنسور جریان هوا پزشکی با ضمانت,کنترل کننده جریان AS200A008C100CJCC |
||
AS200A008C100CJCC استفاده از کنترل کننده جریان جرم گاز برای فرآیند تولید نیمه هادی
کاربردهای معمول
پردازش نیمه هادی، CVD، سیستم های توزیع گاز، کنترل گاز آزمایشگاهی، ابزارهای تحلیلی و غیره
مشخصات:
| میزان نشت | 1×10−10 Pa·m3/s (He) |
| مقاومت فشار | 3 MPa |
| سری محصولات AS200 | کنترل کننده جریان جرم گاز MEMS |
| A (نوع مهر و موم) | A = مهر و موم لاستیکی؛ سیگنال: ورودی/خرید آنالوگ 5V |
| 008 (کد گاز) | 008 با گاز مشخص شده مطابقت دارد |
| C (یک واحد محدوده) | C = SCCM (سانتی متر مکعب استاندارد در دقیقه) |
| 100 (در مقیاس کامل) | 100 SCCM |
| CJCC | پسوند برای رابط، نوع دریچه، ترکیبی الکتریکی و مناسب |
![]()
تماس با شخص: Xu
تلفن: 86+13352990255