محدوده:20.5٪ ~ 95.6٪ حجم
وضوح غلظت:0.1 ٪ جلد
دقت تمرکز:± 1.2٪ FS
محدوده:20.5٪ ~ 95.6٪ حجم
وضوح غلظت:0.1 ٪ جلد
دقت تمرکز:± 1.5٪ FS
محدوده غلظت O2::20.5٪ ~ 95.6٪ حجم
وضوح غلظت:0.1 ٪ جلد
دقت تمرکز:± 1.5% FS (5~45℃)
مقیاس کامل:100 SCCM
منبع تغذیه:+15 تا +28 VDC (تک منبع)
سیگنال:آنالوگ 0-5 ولت؛ از ارتباطات دیجیتال RS485 پشتیبانی می کند
اصل اندازه گیری:MEMS حرارتی
دقت:± (1.5 + 0.2٪ FS)
منبع تغذیه:12-24 VDC
نرخ جریان کاری توصیه شده:50 - 1000 میلی لیتر در دقیقه
ابعاد خارجی:Φ25.6 × 16 میلی متر
وزن:4.8 گرم
اصل:سنجش جریان جرم حرارتی MEMS
متوسط اندازه گیری شده:هوا، N2، O2، Ar، CO2 و غیره
محدوده جریان:0 - 50 SLPM
محدوده:0 - 100 SCCM
دقت:±1.0%SP (≥35%FS)
تکرارپذیری:± 0.2% FS
MF5012:DN12 میلی متر
N4F:N = رشته NPT
حداکثر فشار عملیاتی:1.5 MPa
محدوده اندازه گیری:0~50 SLPM
تکرارپذیری:≤ 0.25٪
زمان پاسخگویی:10 میلیثانیه (پیشفرض)
محدوده جریان:2-16 لیتر در دقیقه
دقت:± 3% FS; تکرارپذیری: <2% FS
منبع تغذیه:18-28 VDC
مقیاس کامل:500 میلی لیتر در دقیقه
دقت:± 3 ٪ FS
تکرارپذیری:0.5 ٪ FS