Measurement Range:0–500 SLPM
Accuracy:±1.5% of Full Scale (F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0 - 800 SLPM
Accuracy Grade:1.5% F.S
Nominal Diameter:19mm
قدرت:11.4 ~ 25.2 ولت
محدوده:0.5 ~ 10،1.8 ~ 32،5 ~ 85،9 ~ 150L/دقیقه
دقت دامنه کامل:X ± 1 ٪ (<50 ٪ دامنه)
محدوده جریان:0 ~ 2000 ... 6000
دقت:± (2.0+0.5fs) ٪
نسبت چرخش:> 100: 1
برای استفاده با:گاز خشک
محدوده:+/- 200 سانتی متر در دقیقه
دقت:0.35٪
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
رانش خروجی با نقطه صفر:+30 MV
حرکت خروجی:+0.12 ٪/OC
منبع تغذیه کار:8-18VDC ، 100mA
مسیر (N):2.3 4. 5
نرخ جریان:10 ، 20 ، 30 ، 40 ، 50 SLPM
نسبت برد:100:1
دقت:± ((1.5 + 0.2 * FS) %
تکرار:0.75 %
رانش خروجی با نقطه صفر:± 30 میلی ولت
دقت:± ((1.5 + 0.2 * FS) %
تکرار:0.75 ٪
رانش خروجی با نقطه صفر:± 30 میلی ولت
دقت اندازه گیری:1.5
محدوده جریان:0-800L
فشار کاری:1 مگاپاسکال
شماره مدل:MF5619
اصل:اندازه گیری جریان جرم
قطر اسمی:19 میلی متر