دامنه اندازه گیری:0 ~ 300 لیتر در دقیقه
خروجی:RS485
دقت:± 3 ٪ FS
میزان جریان جرم:0 - 1000 SCCM
دقت:± ((2 + 0.5 fs) %
زمان پاسخ:8 میلیثانیه
ولتاژ تغذیه:4.75-5.25V
سطح بالا:4 ولت
سطح پایین:0.8 ولت
Output mode:Analog voltage (0.5 - 4.5VDC)
Interface type:M5 screw hole or JST electrical interface
Repeatability:±1.0%
Measuring Range:0 to 100%
Working Pressure:±100 mbar
Operating Temperature Range:15 to 40°C
Flow Range:0–15 SLPM
Accuracy:±(1.5% of reading + 0.5% of full scale)
Repeatability:±0.5% of full scale
Flow Range:0 - 2000 sccm
Accuracy:±(2.0 + 0.5FS)%
Range Ratio:100:1
Measurement Range:0–2 SLPM (Standard Liter per Minute)
Accuracy:±(1.5% + 0.2% F.S.)
Repeatability:±0.25%
Measurement Range:0–50 SLPM
Accuracy:±(2.0% + 0.5% F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0–500 SLPM
Accuracy:±1.5% of Full Scale (F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0 - 800 SLPM
Accuracy Grade:1.5% F.S
Nominal Diameter:19mm
قدرت:11.4 ~ 25.2 ولت
محدوده:0.5 ~ 10،1.8 ~ 32،5 ~ 85،9 ~ 150L/دقیقه
دقت دامنه کامل:X ± 1 ٪ (<50 ٪ دامنه)